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測量范圍 |
Z軸（垂直）160μm / X軸（水平）17.5mm（0.71inch） |
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分辨率Z軸（垂直） |
0．01μm/±20μm 0．02μm/±40μm 0．04μm/±80μm |
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測量參數 |
Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 增加Rpc、Rk、 Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
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顯示范圍 |
Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100% |
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圖形 |
支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓 |
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濾波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
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取樣長度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm |
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評定長度（ln） |
Ln= lr×n n=1~5 |
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測量原理 |
位移式差動電感 |
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觸針 |
天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑 |
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測力 |
<4mN |
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導頭 |
硬質合金，滑行方向半徑40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
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示值誤差 |
不大于±10% |
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示值變動性 |
不大于6% |
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電源 |
內置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電 |
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外形尺寸 |
158x63.5x46mm |
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重量（主機） |
約300g |
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工作環境 |
溫度：- 20℃ ~ 40℃ 濕度：< 90% RH |
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儲存運輸環境 |
溫度：- 40℃ ~ 60℃ 濕度：< 90% RH |
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