測量范圍 |
Z軸(垂直)160μm / X軸(水平)17.5mm(0.71inch) |
分辨率Z軸(垂直) |
0.01μm/±20μm 0.02μm/±40μm 0.04μm/±80μm |
測量參數 |
Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr 增加Rpc、Rk、 Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
顯示范圍 |
Ra,Rq:0.005μm~16μm;Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,:0.02μm~160μm Rsm, Rs:1mm;Rmr:0~100%;Rsk:0~100% |
圖形 |
支承率曲線,粗糙度輪廓,直接輪廓 |
濾波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
取樣長度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm |
評定長度(ln) |
Ln= lr×n n=1~5 |
測量原理 |
位移式差動電感 |
觸針 |
天然金剛石,90錐角,5μm針尖半徑 |
測力 |
<4mN |
導頭 |
硬質合金,滑行方向半徑40mm |
滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
示值誤差 |
不大于±10% |
示值變動性 |
不大于6% |
電源 |
內置鋰離子充電電池,用DC5V,800mA充電器充電 |
外形尺寸 |
158x63.5x46mm |
重量(主機) |
約300g |
工作環境 |
溫度:- 20℃ ~ 40℃ 濕度:< 90% RH |
儲存運輸環境 |
溫度:- 40℃ ~ 60℃ 濕度:< 90% RH |