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測量范圍 |
Z軸(垂直) 640μm (-320μm~320μm)/X軸(水平) 17.5mm（0.69 inch） |
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分辨率Z軸（垂直） |
0.004μm/±40μm 0.008μm/±80μm 0.016μm/±160μm 0.030μm/±320μm |
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測量參數 |
Ra Rz Rq Rt Rc Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Ry Rs Rsk Rku Rmax Rsm Rmr RPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2 |
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顯示范圍 |
Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100% |
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圖形 |
支承率曲線，粗糙度 原始輪廓，濾波波形 |
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濾波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
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取樣長度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm |
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評定長度（ln） |
Ln= lr×n n=1~5 |
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測量原理 |
位移式差動電感 |
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觸針 |
天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑 |
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測力 |
<4mN |
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導頭 |
硬質合金，滑行方向半徑40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
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示值精度 |
0.001μm |
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示值誤差 |
±(5nm+0.1A) A:多刻線樣板參數Ra的標準值 |
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示值變動性 |
不大于3% |
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殘余輪廓 |
不大于0.010μm |
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電源及充電電壓 |
3000mAh鋰離子電池，用DC9V/1000mA,充電器充電 |
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主機外形尺寸 |
155x145x65mm |
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驅動器外形尺寸 |
23x27x115mm |
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支架可調高度 |
40mm |
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重量（主機） |
約400g |
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工作環境 |
溫度：- 20℃ ~ 40℃ 濕度：< 90% RH |
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儲存運輸環境 |
溫度：- 40℃ ~ 60℃ 濕度：< 90% RH |
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可選配件 |
磁性表座、表座連接塊、高度尺、高度尺連接塊，曲面傳感器、小孔傳感器、深槽傳感器、極小孔傳感器、延長桿、
轉接桿、微型打印機、200mm測量平臺、300mm大理石測量平臺，數傳處理軟件，手機APP |
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